伺服行星減速機蝸桿相當于螺旋，其螺旋線也分為左旋和右旋、單頭和多頭。通常蝸桿的頭數Z1=1～4,頭數越多效率越高;但頭數太多,如Z1>4,分度誤差會增大,行星減速機且不易加工。蝸輪的齒數Z2=iZ1，i為蝸桿傳動的傳動比,i=n1/n2=Z2/Z1。對于一般傳遞動力的蝸桿傳動,Z2=27～80。當Z2<27時，蝸輪齒易發生根切;而Z2太大時，可能導致蝸輪齒彎曲強度不夠。以d1表示蝸桿分度圓直徑，則蝸桿分度圓柱上的螺旋升角λ可按下式求出 在上式中引入q=Z1/tgλ，則可求得蝸桿的分度圓直徑為d1=qm。式中q稱為蝸桿特性系數。為了限制滾刀的數目，標準中規定了與每個模數搭配的q值。通常q=6～17。蝸輪分度圓直徑d2=Z2m。
在蝸桿傳動中，蝸輪輪齒的失效形式有點蝕、磨損、膠合和輪齒彎曲折斷。但一般蝸桿傳動效率較低，滑動速度較大，容易發熱等，故膠合和磨損破壞更為常見。蝸桿傳動為了避免膠合和減緩磨損，蝸桿傳動的材料必須具備減摩、耐磨和抗膠合的性能。一般蝸桿用碳鋼或合金鋼制成，螺旋表面應經熱處理(如淬火和滲碳)，以伺服行星減速機便達到高的硬度(HRC45～63),然后經過磨削或珩磨以提高傳動的承載能力。蝸輪多數用青銅制造，對低速不重要的傳動，有時也用黃銅或鑄鐵。為了防止膠合和減緩磨損，應選擇良好的潤滑方式，選用含有抗膠合添加劑的潤滑油。對于蝸桿傳動的膠合和磨損，還沒有成熟的計算方法。
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