直齒精密行星減速機行星齒輪之結構不同于傳統平行齒輪之結構。傳統齒輪依靠倆個齒輪間極少點接觸面擠壓驅動，所有負荷集中于相接觸之少數齒輪面，容易產生齒輪之摩擦與斷裂。而行星減速機具有更大面積齒輪接觸面360度負荷，多個齒輪面共同均勻承受瞬間沖擊負荷，使其能承受較高扭力之沖擊，本體及各軸承零件亦不因高負荷而損壞斷裂。
 

2、體積小重量輕
 

傳統直齒精密行星減速機階由多組大小齒輪偏向交錯傳動減速，由于減速比須由倆個齒輪之倍數比產生，大小齒輪間更要有一定之間距咬合，因此齒箱容納空間極大;尤其高減速比的組合時3更要有倆臺以上減速齒箱連接組合，結構強度相對較弱更使齒箱長度加長，造成體積與重量及其龐大。行星減速機的結構可以需求段數重復連結，單獨完成多段組合，體積小、重量輕、外形輕巧，相對使設備更有價值感。
 

3、高效率低背隙
 

由于直齒精密行星減速機每一組齒輪減速傳動時只有單齒面咬合接觸，當傳動相同扭力時需要更大齒面應力，因此齒輪設計必須采用更大之模數與厚度，齒輪模數越大，齒間偏轉公差值越大，相對形成較高齒輪間隙各段減速比之間的累計背隙隨之增加。而行星齒輪組合中特有的多點均勻密和，外齒輪環的圓弧包絡結構，使外齒輪環與行星齒輪間緊密結合，齒輪間密合度高，除了提升極高之減速機效率值外，設備本身更可達到高定位選用。